iSAC


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iSAC RESERCH isac.png

AEMPはiSAC RESERCH社の日本代理店として、
AtomicLayerDeposition(ALD)装置の販売をおこなっております。

iSAC社製品に関するお問い合わせは

お問い合わせメール:hasekura@aempjp.com
担当:AEMP 支倉 正弘
TEL:080-9637-8693

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iSAC RESERCH Atomic Layer Deposition

iOV e100
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・装置サイズ       チャンバー(600×1000×930)  
(L×W×H mm)    制御ラック(750×600×1200)
・対象基板        < 300×300mm
・プロセス温度      < 400℃±3℃
・ヒーター制御       3ゾーン(or 5ゾーン)
・液体ソースライン     3種(Option)
・反応ガスライン      2種(Option)
・使用電力         AC220V(2p)、Max50A、Heater(30A)


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お問い合わせメール:hasekura@aempjp.com
担当:AEMP 支倉 正弘
TEL:080-9637-8693