SVCS


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AEMPはSVCS Process Innovation(Czech Rebublic)の日本代理店として、
半導体製造用および太陽電池製造用のバッチ式熱反応炉の販売をおこなっております。

SVCSでは量産、研究開発用のそれぞれ用途に合った酸化・拡散アニール炉、LPCVD、
PECVD 及び制御コントローラ、液体ソース供給ステーション、ガスキャビネットなどの
設計、生産をおこなっております。
SVCSは旧チェコスロバキアの半導体産業の長い歴史を継承しています。

SVCS Process Inovationのホームページはこちら⇒

SVCS製品に関するお問い合わせは

お問い合わせメール:hasekura@aempjp.com
担当:AEMP 支倉 正弘
TEL:080-9637-8693


SVCS Process Innovation 社製品

  -横型拡散炉、LPCVD、PECVD-

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<拡散炉プロセス>
  • 拡散高温プロセス
  • BBr3、B2H6、POCl3、PH3、BN)
  • 各種熱処理(アニール、キュア、シンタ)
  • ドライ酸化
  • HiPOx(高圧酸化)
<LPCVDプロセス>
  • シリコン窒化膜
  • 低温酸化膜(LTO)
  • 高温酸化膜(HTO)
  • TEOS酸化膜
  • Dopedシリコン
  • 酸窒化膜
<PECVDプロセス>
  • シリコン窒化膜
   (太陽電池の反射防止シリコン窒化膜を含む)
  • シリコン酸化膜
  • 酸窒化膜
<太陽電池製造装置>
  • 半導体レベルの品質を持つ高効率太陽電池.
  • リン/ボロンドーピング/拡散用バッチ式横型拡散炉  
   (POCl3、BBr3等)

-制御システム SVconCS-
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SVconCSシステムは、横型と縦型両方の熱反応炉のほか、半導体で使用されるその他の装置に合わせて構成できるモジュール式システムです。
現在、ご使用中の装置で制御系が不安定、
もうバックアップが無く装置使用に不安があるなど、
ぜひご相談ください。

-その他のSVCS機器-

<ガス供給シリンダーキャビネット>
幅広い種類のウェハー製造技術を対象にした特別仕様のガスパネルやガス供給システムのほか、さまざまな研究開発用カスタムパネルを製造しています。

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<EBS 外部燃焼システム>
EBS(別名Ex-Torch)はパイロジェニック酸化プロセスで使用する拡散炉の付帯設備です。
酸素中で水素を燃やす事により、高純度の水蒸気を生成します。

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<その他の製品>
・プラズマCVD(PECVD)用カーボンボート

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・ガス供給コントロールパネル

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・液体ソース供給コントロールパネル

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・温度コントローラ

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SVCS製品に関するお問い合わせは

お問い合わせメール:hasekura@aempjp.com
担当:AEMP 支倉 正弘
TEL:080-9637-8693